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      HIWIN線性滑軌在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用案例有哪些?

      來源:m.quueee.cn         發(fā)布時(shí)間:2026-06-10 返回列表

      HIWIN(上銀)線性滑軌因具備微米/亞微米級(jí)定位精度、低發(fā)塵及真空兼容特性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體前道制程與后道封測(cè)設(shè)備中,主要應(yīng)用案例如下:

      HIWIN(上銀)線性滑軌

      ?? 前道制程設(shè)備(Wafer Fab)
      光刻機(jī)(Lithography)/ 晶圓臺(tái):采用HG/RG系列或配直線電機(jī)的導(dǎo)向單元,作晶圓承載臺(tái)的X-Y向精密導(dǎo)向,保障納米級(jí)套刻精度。
      刻蝕機(jī)(Etch)/ CVD/PVD 真空腔體:使用真空專用涂層處理的HIWIN導(dǎo)軌(如MG微型或HG系列),支持10?? Pa級(jí)真空環(huán)境,用于晶圓傳輸滑臺(tái)或腔體內(nèi)部移載機(jī)構(gòu)。
      晶圓探針臺(tái)(Prober):MG/MGW微小型線性滑軌用于探針卡Z軸升降及晶圓XY定位平臺(tái),重復(fù)定位精度可達(dá)±0.3~0.5μm,滿足CP測(cè)試需求。
      ?? 晶圓傳輸與前段模塊(EFEM/FOUP Handling)
      EFEM(設(shè)備前端模塊)晶圓移載系統(tǒng):HIWIN直線導(dǎo)軌配合直線電機(jī)或滾珠絲杠,驅(qū)動(dòng)晶圓機(jī)械手在Load Port與工藝腔間作高速平移,典型重復(fù)定位精度±0.01mm,滿足Class 1潔凈室要求。
      大氣/真空晶圓機(jī)械手(Wafer Robot):SCARA型或多軸機(jī)械手的升降/伸縮軸采用HG系列高剛性導(dǎo)軌,抑制振動(dòng)以降低12英寸晶圓破片率。
      ?? 后道封測(cè)與檢測(cè)設(shè)備
      Die Attach / Wire Bonder / 封裝檢測(cè)設(shè)備:HG/EG系列用于固晶頭XY工作臺(tái)及AOI檢測(cè)平臺(tái),保證高速運(yùn)動(dòng)下的平穩(wěn)性與重復(fù)精度。
      激光劃片/切割機(jī):配合直線電機(jī)使用,實(shí)現(xiàn)晶圓劃切路徑的高動(dòng)態(tài)精密導(dǎo)向。
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